2.Les masqueurs sont une partie essentielle du procédé de photolithographie dans la fabrication des semi-conducteurs et des écrans à cristaux liquides.
3.Aux Etats-Unis et au Japon, la proportion de ces rejets serait également faible pour les utilisations en photolithographie, selon de récentes évaluations.
4.Les rejets de SPFO provenant de son utilisation dans la photolithographie sont infimes comparés aux rejets de SPFO dans d'autres secteurs industriels.
5.Il est difficile d'évaluer le coût du remplacement du SPFO dans l'industrie de la photolithographie, vu l'absence de solutions de remplacement à l'heure actuelle.
6.La photolithographie est l'étape la plus importante pour le déroulement en bonne et due forme de chacune des autres étapes et, de fait, du processus global.