The nonlinearity of moment-angle relationship of the beams in a kind of micromachine vibratory angular rate sensor is derived by using energy method.
用能
法
算了振
轮式微机械角速率传感器中梁的力矩一转角的非线性关系，分析了在这种非线性影响下的传感器幅频、相频特性。
的,振性的;
;
气的;;器;的;压路机；
实锟给料器压实；振成型The nonlinearity of moment-angle relationship of the beams in a kind of micromachine vibratory angular rate sensor is derived by using energy method.
用能法算了振轮式微机械角速率传感器中梁的力矩一转角的非线性关系，分析了在这种非线性影响下的传感器幅频、相频特性。
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